材料

石墨、難熔金屬、陶瓷、工程塑膠廣泛運用在半導體與光電面板等產業，有成在離子植入機料件開發有多年的經驗，能夠提供高純度和高品質的加工料件。有成除了提供基本機台標準品之外，也能提供各類型客製化產品及技術服務，能廣泛應用到各領域和高階製程需求。

除了機台上的標準耗材外，因應半導體製程不斷進步，有成也與客戶共同研究與開發新替代材料的應用。例如，隨著半導體製程越來越精細，半導體晶圓上的微粒particle要求也會越來越嚴謹，此時，有成便與客戶共同研究是否有其他材料在面對離子束時可更耐衝擊、耐磨耗，減少微粒釋放至腔體中，並進一步降低其被帶入晶圓片的可能。與客戶與時俱進，共創雙贏。