材料

材料

石墨、难熔金属、陶瓷、工程塑料广泛运用在半导体与光电面板等产业，有成在离子植入机料件开发有多年的经验，能够提供高纯度和高质量的加工料件。有成除了提供基本机台标准品之外，也能提供各类型客制化产品及技术服务，能广泛应用到各领域和高阶制程需求。

除了机台上的标准耗材外，因应半导体制程不断进步，有成也与客户共同研究与开发新替代材料的应用。例如，随着半导体制程越来越精细，半导体晶圆上的微粒particle要求也会越来越严谨，此时，有成便与客户共同研究是否有其他材料在面对离子束时可更耐冲击、耐磨耗，减少微粒释放至腔体中，并进一步降低其被带入晶圆片的可能。与客户与时俱进，共创双赢。