高规格洁净石墨
加工后之高纯度石墨，因为石墨为层状组织，表面会产生易剥离的石墨粉末，客户于离子植入机中之高阶应用时，容易有碳颗粒的污染于晶圆片中。我们运用机械与化学领域的专精，发展出表面高规格洁净的表面技术，颠覆众人对于石墨表面一定是脏黑的刻版印象。
高规格洁净难熔金属
加工后之高纯度难熔金属，因为有切削液的需求，表面容易有残留的污染物，客户于离子植入机中之高阶应用时，不容许有任何的污染于晶圆片中。我们运用机械与化学领域的专精，发展出表面高规格洁净的表面清洁技术，确保客户获得不低于材料纯度的高规格洁净表面的难熔金属。