离子植入机零件
有成精密专精于离子植入机零组件的制造与研发,提供各大厂牌的耗材零组件,透过精准严密的加工与高规格质量检验流程,为客户群提供最佳质量和最快速的供货服务。
我们多年致力于半导体耗材研发和制作,以自有工厂承制多项材料产品,包含石墨相关、各类金属以及绝缘体材质;透过严谨加工流程,完善的质量系统,专精各项材质加工特性,制作出符合客户期待、满足客户需求的产品。
Insulator
Electrode insulator
PFG insulator
Insulator
Aperture
Electrode ground
Detector cartridge
Roplat
Cathode
Repeller
Aperture slit
Filament
Clamp
Electrode
Aperture
Filament
提供多种原厂设备的耗材
APPLIED
VIISta 80 、 VIISta HP 、 VIISta HC 、 VIISta HCS 、 VIISta HCP 、 VIISta Trident 、 Trident XP 、VIISta 810 Series 、 VIISta 900 Series 、 VIISta 3000 、 VIISion Series 、 E220, E500 、 XR80 9500 、 Quantum 、 Leap 、 Quantum I/II/III 、Quantum X/xR 、 PLAD 、 E1000 、 Kestrel
AXCELIS
Pruion H 、 GSD HE 、 VHE 、 HE3 、 GSD 200 、OHD 、 GSD200E/III 、 GSD LE III 、 NV 6200 、NV 8200 、 NV 8250
NISSIN
EXCEED2000AH 、 EXCEED2300AV 、 EXCEED3000AH 、 EXCEED9600A 、 ID6700 、 G6 、 EVO
SUMITOMO
MC3 Series 、 LEX Series 、 SHX 、 Saion 、Ultra
AIBT
iPulsar 、 iPulsar Plus