イオン注入機部品
有成精密はイオン注入機パーツの製造と研究開発を専門としており、各大手ブランドの消耗性部品を製造し、正確で厳格な加工と高レベルの品質検査プロセスにより、お客様に最高品質かつ最速の納品サービスを提供しています。
当社は長年に渡り半導体消耗材の研究開発と製造に尽力し、グラファイト、各種金属及び絶縁体の材質などを多項目 に渡る材料製品を自社工場で製造しています。当社は厳格な加工プロセス、完全な品質システムを有し、各材質の加工特性に精通しており、お客様の期待に応える製品を製造しています。
Insulator
Electrode insulator
PFG insulator
Insulator
Aperture
Electrode ground
Detector cartridge
Roplat
Cathode
Repeller
Aperture slit
Filament
Clamp
Electrode
Aperture
Filament
様々な純正メーカー設備の消耗性部品を提供
APPLIED
VIISta 80 、 VIISta HP 、 VIISta HC 、 VIISta HCS 、 VIISta HCP 、 VIISta Trident 、 Trident XP 、VIISta 810 Series 、 VIISta 900 Series 、 VIISta 3000 、 VIISion Series 、 E220, E500 、 XR80 9500 、 Quantum 、 Leap 、 Quantum I/II/III 、Quantum X/xR 、 PLAD 、 E1000 、 Kestrel
AXCELIS
Pruion H 、 GSD HE 、 VHE 、 HE3 、 GSD 200 、OHD 、 GSD200E/III 、 GSD LE III 、 NV 6200 、NV 8200 、 NV 8250
NISSIN
EXCEED2000AH 、 EXCEED2300AV 、 EXCEED3000AH 、 EXCEED9600A 、 ID6700 、 G6 、 EVO
SUMITOMO
MC3 Series 、 LEX Series 、 SHX 、 Saion 、Ultra
AIBT
iPulsar 、 iPulsar Plus