化学気相成長機

化学気相成長機部品

化学気相成長装置の部品は、一部がウェハの端に位置しており、非常に精密な要件を持っています。部品の平坦度、表面の粗さ、公差など、半導体製造プロセスにおいて非常に高い要求があります。