化学気相成長機部品
化学気相成長装置の部品は、一部がウェハの端に位置しており、非常に精密な要件を持っています。部品の平坦度、表面の粗さ、公差など、半導体製造プロセスにおいて非常に高い要求があります。
![化学気相成長機部品](https://wwpt.com.tw/wp-content/uploads/2023/02/solution-01-09-345px-min.png)
Carrier Ring
![白色の長方形プラスチック部品](https://wwpt.com.tw/wp-content/uploads/2023/02/solution-02-09-345px-min.png)
Moer Finger
![白い平らなフォーク状の部品](https://wwpt.com.tw/wp-content/uploads/2023/03/solution-03-09-345px-min.png)
Robot Paddle
![化学気相堆積装置の白いストリップ状部品](https://wwpt.com.tw/wp-content/uploads/2023/03/solution-04a-09-345px-min.png)
Spider Fork
![扁円形の黄橙色の部品](https://wwpt.com.tw/wp-content/uploads/2023/02/solution-04-09-345px-min.png)
EPD Window
化学気相成長装置の部品は、一部がウェハの端に位置しており、非常に精密な要件を持っています。部品の平坦度、表面の粗さ、公差など、半導体製造プロセスにおいて非常に高い要求があります。