化学気相成長機部品

化学気相成長装置の部品は、一部がウェハの端に位置しており、非常に精密な要件を持っています。部品の平坦度、表面の粗さ、公差など、半導体製造プロセスにおいて非常に高い要求があります。

化学気相成長機部品
Carrier Ring
白色の長方形プラスチック部品
Moer Finger
白い平らなフォーク状の部品
Robot Paddle
化学気相堆積装置の白いストリップ状部品
Spider Fork
扁円形の黄橙色の部品
EPD Window