化學氣相沈積機台零件

半導體製程中CVD機台的零件因部分位於Wafer端且極為精密，不論是平坦度、表面粗糙度甚至是公差上都有極高的要求。

化學氣相沈積機台零件
Carrier Ring
白色長條形塑質零件
Moer Finger
白色扁平狀叉形零件
Robot Paddle
化學氣相沈積機台白色條狀零件
Spider Fork
扁圓形黃橘色零件
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