半導體部件維修翻新提供各機型機部件翻新維修服務,每一項部件的翻新從收件、異常檢視、維修、出貨檢驗測試等,均有嚴謹的控管程序與維修檢測規範及記錄。部件在維修後均透過測試平台檢驗,以符合維修進度管理、維修品質確保及異常追溯等要求。12吋Varian HCS/Trident Resolving AssyVarian Trident EPMVarian HCS/Trident ManipulatorVarian 900XP ACC TubeNISSIN EX2300/3000 ACC Tube8吋Varian E220/E500 ManipulatorVarian E220/E500 TVL FaradayVarian E220/E500 Roplat AssyVarian E220/E500 Tilter Head AssyVarian Vision 80/200 Manipulator