半导体部件维修翻新
提供各机型机部件翻新维修服务,每一项部件的翻新从收件、异常检视、维修、出货检验测试等,均有严谨的控管程序与维修检测规范及记录。部件在维修后均透过测试平台检验,以符合维修进度管理、维修质量确保及异常追溯等要求。

12吋

Varian HCS/Trident Resolving Assy

Varian Trident EPM

Varian HCS/Trident Manipulator

Varian 900XP ACC Tube

NISSIN EX2300/3000 ACC Tube
8吋

Varian E220/E500 Manipulator

Varian E220/E500 TVL Faraday

Varian E220/E500 Roplat Assy

Varian E220/E500 Tilter Head Assy
