解决方案

案例分享

Beanline石墨90deg组合件往内侧增加厚度，同时填补每套组合件接缝处，使得90deg可呈现完美的无缝接轨组合，增加厚度提升使用周期，亦可降低游离子穿透接缝处所造成的chamber污染问题。客户可升级选择石墨表面不同刻花纹样式，改变表面粗糙解决生成物落，改善particle。