解決方案

案例分享

Beamline石墨90deg組合件往內側增加厚度，同時填補每套組合件接縫處，使得90deg可呈現完美的無縫接軌組合，增加厚度提升使用週期，亦可降低游離子穿透接縫處所造成的chamber汙染問題。客戶可升級選擇石墨表面不同刻花紋樣式，改變表面粗糙解決生成物落，改善particle。