材料

グラファイト、耐熱金属、セラミック、エンジニアリング プラスチックは半導体と光電パネル業界で幅広く活用されており、有成はイオン注入機パーツにおいて長年に渡る経験を有していることから、高純度で高品質な部品を提供できます。有成は基本的な機器の標準製品のほか、様々なカスタマイズされた製品と技術サービスも提供でき、各分野に幅広く応用され、ハイエンドな製造プロセスニーズを満たしています。

機器上の標準的な消耗材のほか、半導体の製造プロセスは絶えず進歩していることから、有成においても新たな代替材料の応用についてお客様と共同で研究開発しています。例えば、半導体の製造プロセスがますます細分化されるのに伴い、半導体ウェハー上の微粒particle要件もますます厳格化されています。そのような中において、有成はお客様とイオンビームに対しより耐衝撃、耐摩耗に優れた他の材料がないかを共同で研究し、粒子の筐体内への放出を減らし、ウェハーチップに持ち込まれる可能性をより一歩低減しています。お客様と共に邁進し、ダブルウィンの局面を創り出します。

金属

  • Tungsten
  • Molybdenum
  • TZM
  • Tantalum
  • WLa
  • Silver
  • Stainless Steel
  • Copper
  • Aluminum
正確な長方形、円形、ストリップ形状を持つ金属材料の部品
半導体グラファイト材料

グラファイト

  • Graphite
  • Impregnated Graphite
  • Glassy-Coating Graphite

絶縁材料

  • Ceramic
  • Boron Nitride
  • Plastic
絶縁材料はプラスチック製で、白色とベージュ色があります