離子植入機零件
有成精密專精於離子植入機零組件的製造與研發,提供各大廠牌的耗材零組件,透過精準嚴密的加工與高規格品質檢驗流程,為客戶群提供最佳品質和最快速的供貨服務。
我們多年致力於半導體耗材研發和製作,以自有工廠承製多項材料產品,包含石墨相關、各類金屬以及絕緣體材質;透過嚴謹加工流程,完善的品質系統,專精各項材質加工特性,製作出符合客戶期待、滿足客戶需求的產品。
Insulator
Electrode insulator
PFG insulator
Insulator
Aperture
Electrode ground
Detector cartridge
Roplat
Cathode
Repeller
Aperture slit
Filament
Clamp
Electrode
Aperture
Filament
提供多種原廠設備的耗材
APPLIED
VIISta 80 、 VIISta HP 、 VIISta HC 、 VIISta HCS 、 VIISta HCP 、 VIISta Trident 、 Trident XP 、VIISta 810 Series 、 VIISta 900 Series 、 VIISta 3000 、 VIISion Series 、 E220, E500 、 XR80 9500 、 Quantum 、 Leap 、 Quantum I/II/III 、Quantum X/xR 、 PLAD 、 E1000 、 Kestrel
AXCELIS
Pruion H 、 GSD HE 、 VHE 、 HE3 、 GSD 200 、OHD 、 GSD200E/III 、 GSD LE III 、 NV 6200 、NV 8200 、 NV 8250
NISSIN
EXCEED2000AH 、 EXCEED2300AV 、 EXCEED3000AH 、 EXCEED9600A 、 ID6700 、 G6 、 EVO
SUMITOMO
MC3 Series 、 LEX Series 、 SHX 、 Saion 、Ultra
AIBT
iPulsar 、 iPulsar Plus